|
تفاصيل المنتج:
شروط الدفع والشحن:
|
| Max. الأعلى. Temperature درجة حرارة: | 1200 ج | درجة حرارة العمل: | لا تزيد عن 1100 درجة مئوية |
|---|---|---|---|
| معدل التسخين: | 0-20 درجة مئوية | توحيد دقة درجة الحرارة: | ± 1 |
| قطر الأنبوب: | حجم العميل | عنصر التسخين: | SiC أو سلك المقاومة |
| التحكم في درجة الحرارة: | 30 خطوة قابلة للبرمجة والتحكم التلقائي PID | ||
| تسليط الضوء: | فرن أنبوب الفراغ CVD,فرن أنبوب Cvd,درجة حرارة عالية |
||
موافقة CE Cvd آلة الماس CVD فراغ أنبوب فرن ، غاز فراغ أنبوب CVD آلة فرن أنبوب Cvd
فرن CVD الخاص بنا هو فرن أنبوب قابل للانقسام مع أنبوب كوارتز بقطر 50 مم ، مناطق ساخنة مزدوجة ، نظام مضخة تفريغ الانتشار وأربع قنوات لمقاييس تدفق الغاز بنظام تدفق الغاز.يمكنه خلط 1-4 أنواع من الغازات من أجل CVD أو الانتشار.
عرض الإنتاج:
المواصفات الفنية:
| نموذج | XDEM-1200CVD | ||
| الجزء الأول: فرن الأنبوب | |||
|
فرن الأنبوب
|
عرض | قاد | |
| غرفة | يمكن فتح النوع المنقسم والجزء العلوي | ||
| الأعلى.درجة الحرارة | 1200 ℃ لوقت قصير | ||
| درجة حرارة ووكينغ المستمرة. | ≤1100 ℃ | ||
| معدل التسخين | الاقتراح: 0 ~ 10 ℃ / دقيقة (بحد أقصى 20 ℃ / دقيقة) | ||
| منطقة درجة الحرارة | 220 + 220 مم مناطق مزدوجة | ||
| عنصر التسخين | سلك المقاومة مع Mo | ||
| الحرارية | نوع K. | ||
| دقة التحكم في درجة الحرارة | ± 1 | ||
| حجم الأنبوب | 50 × 1000 مم (OD × الحد الأدنى L) | ||
| التحكم في درجة الحرارة | التحكم الآلي PID عن طريق التحكم في الطاقة SCR | ||
| منحنيات التسخين | 30 خطوة قابلة للبرمجة | ||
| شفة فراغ |
شفة فراغ الفولاذ المقاوم للصدأ مع صمام
|
||
| قوة | 220 فولت ، 50 هرتز ، مرحلة واحدة بحد أقصى.3 كيلو واط | ||
| الجزء الثاني: مضخة الفراغ | |||
|
مكنسة دوارة دوارة مضخة + فراغ اكسسوارات المضخة + عربة مع عجلة
|
فراغ نهائي 10-3 تور. والفراغ داخل الأنبوب حوالي 10-1 تور. معدل التدفق: 2 لتر / ثانية
|
||
| الجزء الثالث: أجهزة قياس التدفق الكتلي | |||
| أجهزة قياس التدفق الشامل |
أربعة عدادات دقيقة لتدفق الكتلة: MFC 1: يتراوح تدفق الغاز من 0 إلى 100 متر مكعب في الدقيقة MFC 2 & 3: نطاق التحكم من 0 ~ 200 سم مكعب MFC 4: يتراوح تدفق الغاز من 0 إلى 500 متر مكعب (أو وفقًا لطلبك) يتم تركيب خزان خلط غاز واحد في العلبة السفلية مع صمام 4 صمامات إبرة من الفولاذ المقاوم للصدأ مثبتة على الجانب الأيسر من العلبة السفلية للتحكم في خلط الغازات الأربعة يدويًا
|
||
| مقياس الفراغ الرقمي Inficon الجزء الرابع | |||
| إنفيكون |
3.8 × 10-5إلى نطاق قياس 1125 تور مضاد للتآكل ، مستقل من نوع الغاز
|
||
التعبئة والشحن:
صندوق خشبي مع رغوة مملوءة بالداخل لضمان النقل الآمن.
يمكن إرسال الطرود عن طريق البحر والجو والسريع وما إلى ذلك حسب طلب الزبون.
اتصل شخص: Mr. John Fang
الهاتف :: 86-13837786702
